仪器简介

用于半导体器件电学特性测试和分析，可测量电流 - 电压（I - V）、电容 - 电压（C - V）等特性曲线，评估器件性能。在半导体器件研发、生产过程中，用于器件性能测试、工艺优化、故障分析；在电子学研究中，帮助理解半导体器件工作原理和物理机制。

关键指标

1、4个中功率源测量模块在不同电压下电流输出能力：20mA@100V； 50mA@40V； 100mA@20V。

2、4个中功率源测量模块的最小电压测量分辨率： 0.5μV。

3、4个中功率源测量模块的最小电流测量分辨率： 10fA。

4、高功率源测量模块的最大电压范围：-200V~200V。

5、高功率源测量模块的最小电压分辨率：2μV。

6、高功率源测量模块的最大电流范围：-1A~1A。

7、高功率源测量模块的最小电流分辨率：10fA。

8、提供专用的测试软件对仪表进行控制和提取测试数据，具有曲线追踪功能。

9、仪表内置Window操作系统，带触摸式显示屏。

主要功能

测试晶体管、二维材料、光电器件等I-V特性参数。 

设备使用相关说明

校内：0元/小时

校外：180元/小时   

应用案例