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双束电子显微镜(FIB)
收费标准 1000元/小时
设备型号 Helios 5 CX, Thermo Scientific
管理员 马超
联系电话 15521253495
邮箱地址 cma@ustc.edu.cn
放置地点 两山一湖中二栋109
机时预约

仪器简介

即聚焦离子束系统(FIB),主要用于固体样品的微纳加工(离子束刻蚀)、微观结构观察及分析(SEM功能)、高质量定点透射电镜样品制备。配有纳米机械手、铂和碳沉积;可在离子束和电子束诱导下进行铂和碳沉积。

主要配置

纳米机械手、铂和碳沉积、X射线能谱仪。

关键指标

工作电压:200V--30kV;SEM像:0.6nm@15kV;离子束:4nm@30kV。

主要功能

SEM像(二次电子像、背散射电子像)、X射线能谱(EDS)、Ga离子束刻蚀、TEM样品制备。

设备使用相关说明

校内:1000元/小时

校外:2000元/小时

应用案例