仪器简介
即聚焦离子束系统(FIB),主要用于固体样品的微纳加工(离子束刻蚀)、微观结构观察及分析(SEM功能)、高质量定点透射电镜样品制备。配有纳米机械手、铂和碳沉积;可在离子束和电子束诱导下进行铂和碳沉积。
主要配置
纳米机械手、铂和碳沉积、X射线能谱仪。
关键指标
工作电压:200V--30kV;SEM像:0.6nm@15kV;离子束:4nm@30kV。
主要功能
SEM像(二次电子像、背散射电子像)、X射线能谱(EDS)、Ga离子束刻蚀、TEM样品制备。
设备使用相关说明
校内:1000元/小时
校外:2000元/小时
应用案例
