仪器简介

主要用于材料表面轮廓与形状的三维表征测试与分析，获得被观测样品的微米和亚微米级别的微观二维、三维形貌图像，获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。

主要配置

光学显微镜、激光共聚焦。

关键指标

具有5、10、20、50和100倍反射光多功能物镜，激光器波长405 nm，扫描变倍功能范围0.5x-40x,调节步进精度为0.1x。

主要功能

获得样品微观二维、三维形貌图像，获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度等数据。

设备使用相关说明

校内：150元/小时

校外：300元/小时

应用案例

三维形貌图像