仪器简介

主要为材料以及早期的电子器件的非破坏电学测量提供了精确的可控环境。可以直接实现半导体材料/器件的IV，CV曲线，射频，微波，光电，霍尔测试等测试，包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，霍尔测试，光电测试和微波响应等综合分析测试。

主要配置

显微镜系统、霍尔测试模块、矢量网络分析仪模块、阻抗分析仪模块、半导体器件分析仪模块、同步源表模块、可调单色光源。

关键指标

温度范围10-500K，4个直流探针臂，可进行直流到50MHz的射频测量；2个微波臂，支持到67GHz微波信号激励和测量。

主要功能

实现半导体材料/器件的IV，CV曲线，射频，微波，光电，霍尔测试等测试。

设备使用相关说明

校内：100元/小时。

校外：200元/小时（探针损耗另计）。

应用案例

半导体器件的C-V及I-V特性曲线