仪器简介
主要用于透射电镜样品制备,可以在短时间内进行单双面减薄获得高质量的穿孔薄区样品,高能量的离子枪可以快速减薄样品,低能量离子枪可以去除非晶层,从而获得样品原本的真实信息。
主要配置
液氮冷台、自动穿孔检测、XY定位减薄装样器。
关键指标
能量范围:0.1-10 keV(步长0.1 KeV可调),角度范围:-15°- +10°,束斑尺寸:300 µm-5mm。
主要功能
透射电镜样品终减薄、FIB样品精修。
设备使用相关说明
校内:150元/小时
校外:200元/小时
应用案例

镁合金样品离子减薄后的低倍TEM图,高倍TEM图,HRTEM图